Мелкодисперсные частицы (0,01-1 мкм) коагулируют с заряженными ионами воздуха, образуя устойчивые аэрозольные комплексы. В процессе многократного соударения частицы последовательно аккумулируют ионы до достижения состояния зарядового насыщения, что обеспечивает их устойчивую миграцию в электрическом поле.
В зоне осаждения заряженные аэрозольные частицы (0,01-10 мкм) под действием электростатического поля (5-8 кВ/см) совершают направленную миграцию к коллекторным электродам противоположной полярности, где происходит их необратимое осаждение за счет сил Ван-дер-Ваальса и электростатической адгезии. При критической толщине осажденного слоя (≥2 мм) требуется технологическая промывка электродов для восстановления рабочих характеристик системы.
Diffusia реализует процесс коронного разряда при напряжении 12 кВ, в результате которого происходит эмиссия свободных электронов с поверхности эмиттера. Эти электроны, ускоряясь в сильном электрическом поле, ионизируют молекулы газов (преимущественно O₂ и N₂) посредством ударной ионизации, генерируя высокую концентрацию положительных и отрицательных ионов (10⁵-10⁶ ионов/см³).
При выходе из зоны коронного разряда свободные электроны захватываются молекулами газов (O₂/N₂), формируя отрицательно заряженные ионы. Эти ионы, находясь под воздействием электрического поля высокой напряжённости (5-8 кВ/см), направленно движутся к осадительным электродам с противоположной полярностью, обеспечивая селективное осаждение частиц.